Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren Für Integrierte Mos-Schaltungen (Mikroelektronik)

Ein praxisnahes Nachschlagewerk über die Fertigung integrierter MOS-Schaltungen, das Schritt für Schritt Lithographie, Ätzen und Metallisierung erk ...

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Prozeßtechnologie: Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen (Mikroelektronik)

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Marke

Springer Berlin Heidelberg

MPN

Springer Berlin Heidelberg 21514503

ISBN

Springer Berlin Heidelberg 9783540176701