Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures

Ein praxisorientiertes Lehrbuch, das die Prinzipien des Nassätzens von Silizium detailliert erklärt, von der Vorbereitung über Prozesskontrolle bis ...
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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique: A Manual of Wet-Etched Silicon Structures
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Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique, Fachbücher von Joachim Frühauf
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Allgemein

Marke
Joachim Frühauf
MPN
Joachim Frühauf 165 black & white illustrations
ISBN
Joachim Frühauf 364206048X

Eigenschaften

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