Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of III-Nitride Thin Films: Growth and Characterization

Erforscht die präzise Herstellung von III‑Nitride-Filmen durch Plasma‑unterstützte Atomschichtabscheidung, erklärt Prozessparameter, liefert ex ...
Özgit-Akgün Plasma-Assisted Atomic Plasma-Assisted Atomic
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Allgemein

Marke
Çağla Özgit-Akgün
ISBN
Çağla Özgit-Akgün 365920823X

Eigenschaften

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