Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of III-Nitride Thin Films: Growth and Characterization

Erforscht die präzise Herstellung von III‑Nitride-Filmen durch Plasma‑unterstützte Atomschichtabscheidung, erklärt Prozessparameter, liefert ex ...

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Çağla Özgit-Akgün

ISBN

Çağla Özgit-Akgün 365920823X

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