X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control (Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie)

Ein praxisnahes Fachbuch beleuchtet neueste Techniken der X‑Ray-Lithografie, zeigt Schritt‑für‑Schritt Optimierungen und liefert konkrete Prüf ...

Allgemein

Marke
Koch, Frieder Johannes
ISBN
Koch, Frieder Johannes 3731506793

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