X-ray optics made by X-ray lithography: Process optimization and quality control (Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie)
Ein praxisnahes Fachbuch beleuchtet neueste Techniken der X‑Ray-Lithografie, zeigt Schritt‑für‑Schritt Optimierungen und liefert konkrete Prüf ...