Chemische Charakterisierung von Bor- und Siliziumcarbonitridschichten: Bestimmung der chemischen Bindungen mittels TXRF-NEXAFS und XPS

Ein umfassendes Handbuch für die Analyse von Bor‑ und Siliziumcarbonitrid‑Schichten, das TXRF, NEXAFS und XPS nutzt, um Bindungsarten zu bestimme ...

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Suedwestdeutscher Verlag fuer Hochschulschriften
ISBN
Suedwestdeutscher Verlag fuer Hochschulschriften 3838115333

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