Chemische Charakterisierung von Bor- und Siliziumcarbonitridschichten: Bestimmung der chemischen Bindungen mittels TXRF-NEXAFS und XPS
Ein umfassendes Handbuch für die Analyse von Bor‑ und Siliziumcarbonitrid‑Schichten, das TXRF, NEXAFS und XPS nutzt, um Bindungsarten zu bestimme ...