Dopage au bore du silicium amorphe hydrogène déposé par pulvérisation: Dépôt des couches minces de silicium amorphe hydrogéné dopé au bore par la technique pulvérisation DC magnétron (Omn.Pres.Franc.)

Erforscht die Bor‑dopeung amorphen Siliziumhydrogenschichten, beschreibt präzise das DC-Magnetron-Pulverisationsverfahren, analysiert Struktur und ...