Hafnium Oxide And Hafnium Silicate For High-k Application: Characterization of Hafnium Based Oxide Thin Films Deposited by CVD: Characterization of ... For High-k Application in Transistors

Erkunden Sie die fein abgestimmte Struktur und elektrische Eigenschaften von CVD-deponierten Hafnium‑Oxid‑ und Silikatfilmen, die als High‑k‑M ...

Allgemein

Marke
Harish Bhandari
ISBN
Harish Bhandari 9783838333885

Eigenschaften

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