Hafnium Oxide And Hafnium Silicate For High-k Application: Characterization of Hafnium Based Oxide Thin Films Deposited by CVD: Characterization of ... For High-k Application in Transistors
Erkunden Sie die fein abgestimmte Struktur und elektrische Eigenschaften von CVD-deponierten Hafnium‑Oxid‑ und Silikatfilmen, die als High‑k‑M ...