Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns (Dresdner Beiträge zur Sensorik)

Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen
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Allgemein

Marke
TUDpress
ISBN
TUDpress 3959080131

Eigenschaften

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