Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique
Ein Fachbuch, das die mathematische Umkehrung von Streuwellenmessungen in der Mikroelektronik erklärt und neue Algorithmen zur präzisen Dimensionalm ...
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79.00 EUR
Preis aktualisiert am: 12-05-2026 16:53:45
Allgemein
ISBN
6131527296
