TRAITEMENT PLASMA DE MATERIAUX ORGANOSILICIES EN MICROELECTRONIQUE: APPLICATIONS EN LITHOGRAPHIE AVANCÉE ET COMME ISOLANT D'INTERCONNEXION

Plasma­techniken auf organosilikatbasierten Substraten ermöglichen hochauflösende Lithografie und fungieren zugleich als stabile Isolationsschicht ...
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Traitement Plasma De Materiaux Organosilicies En Microelectronique, Fachbücher
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6131537747

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