Revêtements interférentiels pour l'optique extrême UV: Etudes et élaboration de revêtement multicouches pour l'optique extrême UV dans la gamme spectrale 30-50 nm
Ein Fachbuch, das die Entstehung von Mehrschichtreflektoren für die extremen UV-Wellenlängen 30–50 nm beschreibt und dabei innovative Materialie ...