Étude de la croissance dendritique du cuivre dans l'acide oxalique: Application au procédé de nettoyage post-CMP en microélectronique

Die Arbeit analysiert Kupferwachstum in Oxalathochpuffer und demonstriert, wie diese Erkenntnisse die Effizienz von Post-CMP-Reinigungen in der Mikroe ...
Étude de la croissance La croissance Post-CMP en
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Étude de la croissance dendritique du cuivre dans l'acide oxalique, Fachbücher von Elodie Ostermann
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6131597065

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