Mishra, Vipul Vaibhav: Sensor Acústico MEMS à base de Nitreto de Alumínio

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Mishra, Vipul Vaibhav: Sensor Acústico MEMS à base de Nitreto de Alumínio
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Sensor Acústico MEMS à base de Nitreto de Alumínio: Simulação e Fabrico de Design
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