Research on Chemical Mechanical Polishing Mechanism of Novel Diffusion Barrier Ru for Cu Interconnect

Entwickelt für Fachleute im Halbleiterbau bietet dieses Buch eine tiefgehende Analyse der chemisch-mechanischen Polierung von neuartigen Ru-Diffusion ...

Allgemein

Marke
Springer
ISBN
Springer 9811355851

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