Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses: Fundamental Mechanisms And Application To Ic Interconnect Technology
Dieses Fachbuch untersucht die chemisch-mechanische Politur von Niedrigdielektrikpolymeren und organosilikattem Glas, erklärt die zugrundeliegenden M ...
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Allgemein
Marke
Borst, Christopher Lyle
ISBN
Borst, Christopher Lyle 1461354242
MPN
Borst, Christopher Lyle biography
