Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
Dieses Buch beleuchtet die magnetron‑aktivierte Plasmachemie als Methode zur Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen, wasserstoffh ...
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Allgemein
Marke
TUDpress
ISBN
TUDpress 395908014X
